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| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie | Lemke, Stephanie | 2011 |
| Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
| Anzahl der Dokumente: | 1 |
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| 1 | Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie | Lemke, Stephanie | 2011 |
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